ITO（氧化铟锡）靶材

时间：2025-03-18 来源:原创 浏览量:76

作用：
氧化锡是ITO靶材的关键成分之一（通常占10%），它与氧化铟（In₂O₃）烧结成靶材，用于溅射透明导电薄膜层。
纯度和粒度：
纯度：通常要求4N（99.99%）以上，高端应用则需要5N（99.999%）。
粒度：纳米级（20-100nm），以确保溅射形成的薄膜具有均匀的导电率和透光率。